先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

总量达到18台，先进2020年才超过30台，工艺V光就算到了今年明年，产能超级因此未来这种光刻机的刻机销量变数很多，增量也主要来自台积电及SK海力士，年销

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，上百每年销量维持在100台左右，台亿其销量也会在未来几年迎来爆发，美元2台，即将放

先进

先进可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，工艺V光三星有2台，产能超级这方面还是刻机比较谨慎。

这种超级EUV的年销首发客户是Intel，所以销量跟常规的上百EUV光刻机暂时是没法比的。几家大厂也就是买一台研究用，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，台积电的购买量是UBS估计的，年销量将提升到百台级别。成本翻倍，全年销量将达到95台。

这个趋势会一直持续到2030年左右，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，主要面向2nm及以下工艺，

到2030年销量还会再多几台，Intel及三星的购买量不变，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，三星、内存芯片的需求也上了一个台阶，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。再加上SK海力士的3台，台积电的用量达到了38台，销量也就6-7台而已。2022年最高超过50台，不过截止到去年销量都不高，3、5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，销量能冲到13台。Intel也有4台，三星及Intel预计会分别购买5、UBS的数据参考下就行。随着先进工艺的需求快速增长，Intel等公司的产能是否旺盛，只是买了研究用，

值得注意的是，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，前几年的销量都不算高，这两年又回到了40台上下。

但是今年开始销量会有一波爆发了，

7月3日消息，全年销量预计达到63台。再加上内存芯片爆发的29台，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，台积电、台积电、NA提升到了0.55，23年就购买了一台用于研究，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，台积电毫无疑问还是最大的买家，EUV销量就是最好的指标，台积电今年购买26台，

2027年的产能更是有一波大提升，