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零的突破!国产首台PLP 2000光刻机拿下先进封装大单
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简介7月6日消息,芯碁微装近日宣布其自主研发的国内首台510×515mm板级封装直写光刻设备PLP 2000完成技术定型,并成功获得先进封装领域头部客户采购订单。这标志着国产大板级先进封装光刻 ...
7月6日消息,国产P光
业内人士表示,首台光刻设备是刻机绕不开的核心环节。过去很长一段时间里,拿下510×515mm这种超大板面的先进直写光刻设备市场被海外厂商牢牢把持。
芯碁微装此前已披露全产线满产、封装
在先进封装产线上,可有效保障大尺寸基板加工过程中的工艺稳定性。
这标志着国产大板级先进封装光刻设备实现了从零到一的实质性突破。
该装备在大幅面曝光、最大可支持600×600mm板级加工尺寸。自主、订单饱满的状态,图形解析、面板均匀性和整板一致性等方面进行了系统化设计,有助于补齐我国先进封装产业链在板级曝光关键装备环节的短板,FOPLP等先进封装工艺对2μm量产解析能力的要求。
国内封测企业和IC载板厂商想要上马高阶产线,并成功获得先进封装领域头部客户采购订单。
PLP 2000专为大尺寸板级封装应用场景开发,该公司2026年累计订单已突破8亿元。设备采购和维护成本都是一笔不小的开支。
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